Cromocol
Surface Chemistry Krüss

Droppformanalysator - DSA100W - Krüss

Utför automatiska vätbarhets- och vidhäftningsanalyser av wafers och andra runda prover. Levereras och stöds av Cromocol.

Begär offert
Droppformanalysator - DSA100W - Krüss

Avancerad ytanalys av wafers för kvalitetskontroll

DSA100W Drop Shape Analyzer från Krüss är konstruerad för automatiserad kvalitetskontroll av waferytor och andra runda prover, med fokus på standardiserad bedömning av ytrenhet och beläggningseffektivitet. Genom mätning av kontaktvinkel utvärderar instrumentet homogeniteten hos ytrengöring och särskiljer beläggningsegenskaper, särskilt vid åtskillnad av vätningsegenskaper hos exponerad kontra oexponerad fotolack.

Användningsområden

Speciellt designad för halvledar- och mikroelektronikindustrin betjänar DSA100W flera användningsområden. Den är idealisk för utvärdering av rengörings- och beläggningsenhetlighet på wafers, bedömning av vidhäftning mellan wafers och beläggningar, samt undersökning av vätning av fotolacker, både exponerade och oexponerade. Dessutom sträcker sig dess tillämpning till analys av runda prover som hårddiskar och bromsskivor, vilket gör det till ett mångsidigt verktyg för ytanalys.

Mättekniker och fördelar

Hjärtat i DSA100W ligger i dess mjukvarustyrda uppställning med ett roterande provbord som säkerställer snabba och noggranna kontaktvinkelmätningar över vilken waferposition som helst. Denna precision förstärks ytterligare av ett kontrollerat doseringssystem som minskar avvikelser vid förvätning av mätningar. Med integrering av ADVANCE-mjukvaran automatiserar instrumentet mätprocessen, vilket möjliggör högt genomflöde med standardiserade procedurer. Hög bildkvalitet, uppnådd genom en högupplöst kamera och kvalitetszoomobjektiv, garanterar tillförlitlig droppformanalys för exakta kontaktvinkelmätningar.

Produktvideo

Tekniska specifikationer

Dosing System
  • Syringe Dosing: 1 × software-controlled
  • Liquid Needle double pressure dosing: optional
  • Drop deposition (syringe dosing): software-controlled
  • Syringes, volume: glass (1 × 450 μL), disposable (900 μL)
  • Resolution (syringe dosing): 20 nL
  • Speed (syringe dosing): 0.004 to 25 μL/s
Camera system (standard)
  • Model: Camera CF04
  • Connection: USB 3.0
  • Resolution: 1920 × 1200 px
  • Frame rate: 2300 fps
  • Dark noise: 7 electrons
  • Dynamic range: 73 dB
Optics (standard)
  • Focus: manual
  • Zoom: 7× zoom, manual
  • View angle: ±4°
  • Field of view: CF04: 3.9 mm × 3.9 mm to 24.7 mm × 24.7 mm
  • Resolution of optics: CF04: 3.1 to 21.7 μm
Illumination
  • Types: high power monochromatic LED
  • Wave length, dominant: 470 nm
  • Field of light: 46 mm × 46 mm (D × H)
Stages
  • Control: y-axis: software-controlledz-axis: manual z-axis (optional): software-controlledrotation axis: software-controlled
  • Range: y-axis: 170 mmz-axis manual: 45 mmz-axis software-controlled (optional): 38 mmrotation axis: 360°
  • Resolution: y-axis: 10 μmz-axis manual: 16 mm/turnz-axis software-controlled (optional): 10 μmrotation axis: 0.1°
  • Accuracy: y-axis: 100 μmz-axis manual: -z-axis software-controlled (optional): 100 μmrotation axis: 1°
Liquid Needle pressure dosing system
  • Included in setup: optional
  • Types: double
  • Control: software-controlled
  • Cartridge, volume: disposable (1 mL)
  • Resolution: 0.1 μL
  • Speed: fixed (fast jet)
Camera system (optional)
  • Model: 5 megapixel high speed camera CF10
  • Connection: USB 3.0
  • Resolution: 2592 × 2048 px
  • Frame rate: 3450 fps
  • Dark noise: 9.3 electrons
  • Dynamic range: 60 dB
Optics (optional)
  • Focus: manual
  • Zoom: 7× zoom, manual
  • View angle: ±4°
  • Field of view: CF10: 7.1 mm × 5.6 mm to 49.8 mm × 39.4 mm
  • Resolution of optics: CF10: 2.7 to 19.2 μm
Tilting (optional)
  • Types: external tilting table
  • Control: software-controlled
  • Range: 0 to 90°
  • Resolution: 0.1°
  • Accuracy: 1°
Software
  • Software type: ADVANCE
  • Software languages: Chinese (simplified), English, French, German, Japanese, Korean, Portuguese, Russian, Spanish
  • Software modules: Contact angle (recommended)Surface free energy of solids (recommended)Interfacial and surface tension of liquids: - pendant drop, rising drop (optional)- Contrained Sessile Drop (optional)Adhesion Analysis (optional)Remote Control API (optional)
Sessile drop
  • Results: contact angle
  • Range: 0 to 180° (software-based)
  • Resolution: 0.01° (software-based)
  • Accuracy: 0.1° (instrument-based)
  • Models: conic sectionpolynomialcircleYoung-Laplaceheight-width
  • Types: advancingrecedingstaticdynamictilting
Surface free energy of solids
  • Results: surface free energypolar & disperse partacid & base partH-bond part
  • Models: equation of stateZismanFowkesWuOwens-Wendt-Rabel-KaelbleSchultz-1extended Fowkesacid-base theory
Captive bubble
  • Results: contact angle
  • Range: 0 to 180° (software-based)
  • Resolution: 0.01° (software-based)
  • Accuracy: 0.1° (instrument-based)
  • Models: conic sectionpolynomialcircleYoung-Laplaceheight-width
  • Types: advancingrecedingstaticdynamictilting
Pendant drop/rising drop
  • Results: surface tensioninterfacial tension
  • Range: 0.01 to 2000 mN/m (software-based)
  • Resolution: 0.01 mN/m (software-based)
  • Models: Young-Laplace
  • Types: staticdynamic
Constrained Sessile Drop
  • Results: surface tension
  • Range: 0.01 to 2000 mN/m (software-based)
  • Resolution: 0.01 mN/m (software-based)
  • Models: Young-Laplace
Sample dimensions
  • Maximum sample space: 320 mm × ∞ × 275 mm (W × D × H (without axes))
Instrument dimensions
  • Footprint: 555 mm × 375 mm (W × D)
  • Height: 490 mm
  • Weight (without accessories): 24 kg
Environment
  • Operating temperature: 10 to 40 °C
  • Humidity: without condensation
Interfaces
  • PC: USB 3.0
Housing and peripherals
  • Compartment: test liquids protected against light
  • Needle protection shield: yes
  • Camera und optics housing: yes
  • Levelling: yes
Power supply
  • Voltage: 88 to 264 V
  • Power consumption: 100 W
  • Frequency: 50 to 60 Hz
Temperature measurement
  • Range: -50 to 400 °C
  • Resolution: 0.1 °C
  • Precision: ±0.1 °C
  • Accuracy: 1/3 DIN B (±0.1 °C at 0 °C to ±0.8 °C at 400 °C)
  • Locations: environment air
  • External sensor: 2 connectors (PT100)

Vanliga frågor

Vad gör DSA100W idealisk för utvärdering av ytbehandlingar på wafers?
Kan DSA100W särskilja mellan olika beläggningsegenskaper?
Vilka är specifikationerna för kamera- och doseringssystemen i DSA100W?
Är DSA100W kapabel att utföra temperaturberoende mätningar?
Hur stöder mjukvaran driften av DSA100W?
Vilka är miljökraven för drift av DSA100W?

Begär offert för Droppformanalysator - DSA100W - Krüss

Fyll i formuläret, ring oss eller skicka ett e-postmeddelande så kontaktar vi dig så snart som möjligt.

Tillbaka till alla produkter